低能电子显微镜及光电子显微镜由于具有空间分辨率高以及样品损伤忽略不计的优点，一直以来都被广泛用于原位实时成像研究各种表面、界面的动力学现象。但是，这些应用主要集中在室温或高温现象的研究，其对低温量子现象的高分辨表征未见报道。主要原因是低能电子显微镜及光电子显微镜的低温成像功能的开发一直都不太成功，存在空间分辨率低、低温无法长时间维持以及液氨消耗量大的一系列缺点。本报告将介绍课题组这几年来基于低能电子显微镜和光电子显微镜一体化系统成功开发的先进低温表面量子电子显微镜，该显微镜的空间分辨率接近5nm，比同类低温设备提高了5倍多，而且样品还可以长时间维持在30K的液氨温区，温度抖动小于40mk。该仪器的出现将在表面、界面低温量子现象的动力学研究、量子精密测量以及电子散射理论等方面带来一系列的突破。