学术讲座 - 基于电子存储环的高功率EUV光源
2023-02-13
高功率EUV光源是限制我国半导体先进制程的一个重要瓶颈。本报告介绍一种基于电子加速器（电子储存环）的高功率EUV产生方案，并分析其优缺点和技术难点。
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